Halfgeleiderindustrie kan om meerdere redenen profiteren van AM

Met AM-technologie kunnen leveranciers van kapitaalgoederen voor halfgeleiders de traditionele complexe productieassemblage vermijden en verschillende onderdelen samenvoegen tot één onderdeel, waardoor de opbrengst en betrouwbaarheid verbeteren. Dat is de boodschap waarmee Trumpf dit jaar de bezoekers van Formnext wil trekken.

De chipindustrie vereist machines die werken met optimale precisie en herhaalbaarheid, met prestatiespecificaties in het nanometerbereik. Zelfs de kleinste afwijkingen kunnen leiden tot defecte chips, wat resulteert in duur schroot. Traditionele manifolds in deze machines zijn groot, gevoelig voor lekkages en veroorzaken grote drukval en trillingen, wat de productiviteit negatief beïnvloedt.

Hogere yield in productie lithografiesystemen

Additive manufacturing (AM) biedt een innovatieve oplossing voor deze problemen. Door het gebruik van AM-technologie kunnen fabrikanten van halfgeleiders afkeur verminderen en kosten besparen. Marco Andreetta, bij Trumpf verantwoordelijk voor de klanten in de halfgeleiderindustrie, benadrukt dat de functionaliteit en precisie van halfgeleiderproductiemachines verbeteren door het gebruik van additief vervaardigde onderdelen. Dit leidt tot efficiëntere productieprocessen, omdat complexe assemblage wordt vermeden en meerdere onderdelen als één component worden geprint. Dit verhoogt de yield en betrouwbaarheid van het proces en biedt ontwerpvrijheid. Optimalisatie van de manifolds resulteert uiteindelijk in betere prestaties van de machines.

2e generatie AM

Trumpf introduceert op Formnext meerdere AM-componenten voor de halfgeleiderindustrie en het AMA-systeem (Automatic Multi-Laser Alignment). Dit systeem monitort en corrigeert automatisch de uitlijning van de lasers op TruPrint-systemen. De tweede versie van het AMA-systeem, die op Formnext wordt gelanceerd, werkt sneller en nauwkeuriger. Het systeem registreert visueel de positie van master en slave en corrigeert de tweede. Deze procedure wordt uitgevoerd tussen de productie van afzonderlijke lagen, met een interval die de gebruiker instelt. Daarnaast monitort de machine het smeltbad, wat niet alleen de kwaliteit borgt maar ook kosten bespaart door het mogelijk achterwege laten van non-destructieve testen zoals CT-scans.

Foto: Trumpf